对于半导体器材、印制电路板等外表形状杂乱且易损坏的器材，其外表污物难于清洁的情况，介绍了一种根据SPCE061A单片机操控的超声波清洁机。
根据超声波清洁原理，剖析了超声波清洁机的作业进程，对超声波清洁机的操控电路、驱动电路、频率主动盯梢技能、阻抗匹配及系统软件设计办法进行了具体介绍。该超声波清洁机能够完成频率主动盯梢、功率调理及守时等功用，别的有振动、扫描两种作业办法可供挑选。试验标明，该超声波清洁机作业牢靠，清洁作用好。
超声清洁是使用超声波在清洁液中的空化作用、加速度作用及直进流作用，发生的冲击，将浸没在清洁液中的工件内外外表的污物震落剥离下来。现在常用的超声波清洁机中，以空化作用和直进流作用为主。超声波清洁机shou要应用于电子、光学和医疗范畴，用来清洁半导体器材、印制电路板、玻璃器具等。
超声波清洁机由超声波发生器、超声波换能器、超声清洁槽及操控电路构成。超声波清洁机shou要使用超声波发生器发生超声波信号并传入超声波换能器，超声波换能器将超声波电能转换为高频机械振动并传入清洁液中，在清洁液中发生空化作用，然后到达超声波清洁的目的[4-5]。
超声波清洁机操控的关键是频率盯梢，也即是使超声波电源输出频率和换能器频率共同，这么才干构成共振，使换能器处于**好作业状况，清洁作用**好。现在，常用的频率盯梢技能采用锁相环办法，该办法简略易完成，盯梢作用好，但功用单一。
这篇文章采用单片机完成全数字操控，以便于设置有关参数。该机的shou要功用有频率主动盯梢、功率调理、振动作业办法、扫描作业办法、守时功用。
