超声波清洁器空化阈值和超声波的频率有密切关系。频率越高，空化阈越高，换句话说，频率越高，在液体中要发生空化所需求的声强或声功率也越大；频率低，空化简单发生，同时在低频情况下，液体遭到的紧缩和稀疏效果有更长的时刻距离。
使气泡在溃散前能生长到较大的尺寸，增高空化强度，有利于清洁效果。现在超声波清洁器的作业频率根据清洁目标，大致分为三个频段；低频超声清洁(20一50KHz)，高频超声清洁(50—200KHz)和兆赫超声清洁(700KHz一1MHz以上)。低频超声波清洁器适用于大部件外表或许污物和清洁件外表联系强度高的场合。频率的低端，空化强度高。
易腐蚀清洁件外表，不适宜清洁外表光洁度高的部件，并且空化噪声大。超声波清洁器40KHz摆布的频率，在一样声强下，发生的空化泡数量比频率为20KHz时多，穿透力较强，宜清洁外表形状杂乱或有盲孔的工件，空化噪声较小。但空化强度较低，合适清洁污物与被清洁件外表联系力较弱的场合，高频超声清洁适用于计算机。
微电子元件的精密清洁，如磁盘、驱动器，读写头，液晶玻璃及平面显示器，微组件和抛光金属件等的清洁。这些清洁目标要求在清洁过程中不能遭到空化腐蚀。要能洗掉微米级的污物。兆赫超声波清洁器适用于集成电路芯片、硅片及簿膜等的清洁。能去掉微米、亚微米级的污物而对清洁件没有任何损害。
由于此刻不发生空化。超声波清洁器清洁机理主要是声压梯度。粒子速度和声流的效果。特点是清洁方向性强，被清洁件通常置于与声束平行的方向。
